542073 5174851 5107312 7612758 4559713 3355783 3154334 1480990 680159 7402291 6535999 4119370 1271586 4510626 1144713 963563 6044634 5408248 6567198 5817017 501 959 353 386 964 119 568 173 64 28 10 6 2 0 2 2 2 6 9 2 9621 3624 7769 4238 8217 3338 4764 9303 9635 4651 549 2338 6064 4105 7969 9825 9552 691 9421 2442